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扩散泵的油温问题

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该用户从未签到

发表于 2011-4-30 23:16:13 | 显示全部楼层 |阅读模式
北京中仪天信科技有限公司
本帖最后由 13523700750 于 2011-4-30 23:20 编辑

我公司的真空炉在抽真空的时候扩散泵的油温维持在240-260之间,最近抽真空的时候抽不上去。厂家来人说抽真空的快慢给那个油温有关系。不能太高也不能太低。不能理解给油温有什么关系?测压升率也可以,就是抽不到-2,还有就是抽完真空后关闭插板阀,但是出炉后需要打开插板阀,打开自动放气阀放机组后面的真空,放气阀打开没有反应,手动放完气,电阻规也显示不正常了以前是1.0的5次方,现在都是3次方4次方左右,这是什么原因,电阻规也没有坏,换新的还是一样。

该用户从未签到

 楼主| 发表于 2011-5-1 09:28:10 | 显示全部楼层
怎么没有人回答啊

该用户从未签到

发表于 2011-5-1 09:57:28 | 显示全部楼层
那会不会是你的真空计有问题啊  一般不会出现这种状况的啊

签到天数: 1 天

[LV.1]初来乍到

发表于 2011-5-3 13:08:11 | 显示全部楼层
本帖最后由 蓝梦飞 于 2011-12-9 13:36 编辑

建议对真空技进行校正,还有你的扩散泵油是不是很久没换了,估计氧化了,更换一下。

该用户从未签到

发表于 2011-5-13 09:54:47 | 显示全部楼层
具体的情况不是太清楚,但电阻规测的介质不一样显示的真空是不一样的,在大气下它是准的,如果换成氩气环境就不准了。
扩散泵处可以加一套测温控制系统,温度达到上限后断电,避免温度过高对真空的影响也能省电。

签到天数: 2 天

[LV.1]初来乍到

发表于 2011-11-24 16:51:04 | 显示全部楼层
只要有足够的水冷,加热器有没有损坏,温度不会有什么问题,
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