真空泵的工作原理、选型及组合

sunyinlin

最近调研真空熔炼及热处理设备时发现，用于真空系统的泵的名称较多，有机械泵、罗茨泵、扩散泵、维持泵、油增压泵、滑阀泵、机械增压泵、旋转机械泵、无油干式机械泵等，这些泵所起的作用及工作原理如何区分，如何根据设备要求来组合并选择合适的真空系统方案。真空泵的生产厂家有Edwards,varian,kinney,stokes,各个品牌及选择的型号又如何组合呢？希望相关专家能系统地整理一下，方便大家学习和了解。

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机械 -罗茨和 滑阀-罗茨 旋片-罗茨

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你这题目太大！不是一两句说清的。以下简单介绍一下，细节买本真空守则书看看。
【一】机械真空泵：是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，使用范围极广，从粗真空到10-12Pa以上的超高真空范围。
机械真空泵按其工作原理及结构特点分如下：
1 变容真空泵，这种泵分为往复式及旋转式两种。其中旋转式真空泵又分为油封式真空泵、液环真空泵、干式真空泵。热处理常用机械泵都属于此类。如：旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵
旋转式真空泵大致分一下几种a油封式真空泵.b液环真空泵 ，作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。c.干式真空泵,它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。使用场所不同于热处理，大部分在制药工业及食品行业。d.罗茨真空泵，内置两个相反方向同步旋转的双叶形的转子，俗称双8字。热处理真空泵常使用它来做增压泵使用。
2.动量传输泵,原理是靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：1)分子真空泵，是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：a.牵引分子 b涡轮分子泵 c复合分子泵  这些泵热处理行业用的少，大部分使用高、超高真空要求的行业。
往复式真空泵又称活塞式真空泵属于低真空获得设备，也有干式和湿式之分，这里不多续。
【二】油扩散泵，。。。。
【三】低温冷凝泵。。。。。

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